○ 高機能プラスチックスカンパニー 工業テープ事業部
 工業テープ事業部では、極薄半導体製造プロセスに革新をもたらすテープ製品群を展示しました。特に「セルファBG（耐熱用）」を用いた次世代型貫通電極デバイス等の生産プロセスを提案し、大いに関心を集めました。ご来場いただきました多くのお客様と活発な意見交換ができましたことを深く御礼申し上げます。 |
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○ Ｒ＆Ｄテクノロジーセンター Ｐ２事業推進部
 P2事業推進部では、常圧CVD装置と常圧プラズマ表面処理装置をご紹介致しました。
常圧CVDでは、O3/TEOS CVD装置の新たなプロセスをご提案させて頂き、
常圧プラズマ表面処理装置では、常圧プラズマの新たなアプリケーションを中心にご紹介させて頂きました。
ご来場頂いたお客様には、多くのご意見・ご要求を頂けましたこと、御礼申し上げます。
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○株式会社ヴァンテック
 ヴァンテックでは、新商品であるΣ３００容器を中心とした
ウエハ搬送容器を展示させていただきました。（写真参照下さい。）
主要顧客であるウエハメーカ、デバイスメーカ様、または海外の商社様のご来場頂き多くの質疑応答、ご要望を賜りました。
今後の展開に大いに繋がる結果となり、厚く御礼申し上げます。
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