常圧プラズマ表面処理装置

製品名称

常圧プラズマ表面処理装置

一般名称

プラズマ表面処理装置

製品バリエーション

AP‐TO2‐S,AP‐TO3

製品仕様

AP‐TO2‐S
用途:表面改質など,対象基材:種類;FPCなど、サイズ;300×300,ソース:種類;平行平板 ダイレクト、処理面;片面,搬送系:搬送;固定、速度;〜2000mm/min(Hot電極移動速度),ガス:系統数;3系統、標準;窒素・酸素など、流量;5〜50L/min,ユーティリティ:電源;3相200V20A、エアー;0.5MPa、排気ダクト;径100mm×1口、ガス;0.2〜0.3MPa,標準寸法:2500(W)×1100(D)×1700(H)
AP‐TO3
用途:ボンディングの信頼性向上など,対象基材:種類;BGAなど、サイズ;〜70×250,ソース:種類;平行平板 リモート、処理面;片面,搬送系:搬送;マガジンtoマガジン、速度;20sec/枚程度,ガス:系統数;2系統、標準;窒素など、流量;30〜50L/min,ユーティリティ:電源;3相200V20A・単相100V20A、エアー;0.5MPa・20Ni/min 径10mm×1口、真空;−80kPa 径10mm×1口、排気ダクト;径100mm×1口、ガス;0.2MPa,標準寸法:1200(W)×1000(D)×1600(H)


商品説明

独自のプラズマ発生技術により、有機汚染物の除去、表面の濡れ性付与等による接着性やコーティング性の改善、樹脂残滓の除去によるメッキ性の改善等が、常圧下で可能になります。真空を必要としないので連続した表面処理が可能。さらに、さまざまな基板に対応します。

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