高接着易剥離UVテープ
SELFAシリーズ

SELFAシリーズとは

SELFAとは高い接着性と剥離しやすさを両立させたUV剥離テープです。 UV照射によりテープと被着体間にガスが発生し、密着力をゼロにして簡単に剥がすことが出来、薄く研磨されたウェハ等でもダメージ無く加工することが可能になります。 耐熱性に優れた片面HS、耐熱テンポラリーボンディング材のHW、耐薬品性に優れたMPなど幅広いラインナップから最適な品番を提案させて頂きます。

・耐熱SELFAシリーズ SELFA HS
・耐熱SELFAシリーズ SELFA HW
SELFAイメージ1 SELFAイメージ2
SELFAシリーズの特徴

耐熱性と剥離技術により新しい半導体プロセスを実現

リフローなど
新工程への適用

超薄デバイスへの
適用

幅広い
プロセスウィンドウ

耐熱性ガス発生により
ダメージレスで剥離
SELFAシリーズの特徴イメージ
軽剥離、低残渣熱工程後でも残渣レスを実現
一般UVテープ

一般UVテープ

SELFA

SELFA

一般UVテープ SELFA
耐熱性 ×(150度以下) 220℃ @ 2hr + Reflow
残渣 × 残渣レス
片面耐熱SELFA HSシリーズ

各種PKG製造時のリフローなど熱工程時にデバイスを保護

SELFA HS

特徴

  • 優れた耐熱性、耐薬品性
  • 強粘着+低残渣の両立を実現

使用例

SELFA HS 使用例

製品仕様

品名 タイプ 高耐熱 剥離方法 基剤種類 デバイス側
粘着種類
支持剤側
粘着種類
UV波長
(nm)
UV照射量
(mj/cm2)
用途例
HS 片面 ピール 耐熱フィルム UV硬化粘着剤 - 405 3000 リフロー
両面耐熱SELFA HWシリーズ

テープ式のガラスサポートシステムを実現し、生産性向上に貢献

SELFA HW

特徴

  • テープ式ガラスサポートによりハンドリング性向上
  • ガス発生によりダメージレス剥離
  • 優れた耐熱性、耐薬品性

使用例:センサー(CIS、指紋など)ウェハ反り防止

SELFA HW 使用例

製品仕様

品名 タイプ 高耐熱 剥離方法 基剤種類 デバイス側
粘着種類
支持剤側
粘着種類
UV波長
(nm)
UV照射量
(mj/cm2)
用途例
HW 両面 ピール
ガス剥離
耐熱フィルム UV硬化粘着剤 ガス発生 405
254
3000
12000
ガラスサポート
テスト結果

BGテスト

テスト条件 結果
ウェハ厚み
700μm ⇒ 50~30μm

エッジ部分

BGテスト結果

耐薬品性テスト

ガラス+両面SELFA+ウェハを貼り合せ後3時間のディッピングテスト実施

Acid
(SC2:HCl+H2O2+H20):3時間
Base
(2.38% TMAH):3時間
Pre-UV
無し
Acid Pre-UV無し イメージAcid Pre-UV無し イメージ2端部浮き
Base Pre-UV無し イメージBase Pre-UV無し イメージ2端部浮き
Pre-UV
有り
Acid Pre-UV有り イメージAcid Pre-UV有り イメージ2端部OK
Base Pre-UV有り イメージBase Pre-UV有り イメージ2端部OK

耐熱性テスト

a) 220℃×2時間 b) 260℃リフロー
条件
耐熱性テスト ホットプレート耐熱性テスト 220℃×2時間グラフホットプレート
耐熱性テスト 260℃リフローグラフ
ガラス+両面SELFA+ウェハを貼り合せ後
耐熱性テストを実施
220℃×2時間 実施後変化なし:2時間OK
260℃リフロー 実施後変化なし:3回OK
ウェハ/チップ製造プロセス関連製品一覧
概要 製品カテゴリ シリーズ名/製品名 特徴
半導体プロセス用
耐熱UVテープ
高接着易剥離UVテープ 耐熱SELFAシリーズ
SELFA HS
各種PKG製造時のリフローなど熱工程時にデバイスを保護
ウェハサポートシステム
用両面耐熱UVテープ
高接着易剥離UVテープ 耐熱SELFAシリーズ
SELFA HW
テープ式のガラスサポートシステムを実現し、生産性向上に貢献
めっき工程時の
裏面保護用テープ
高接着易剥離UVテープ SELFAシリーズ
SELFA MP
UV照射によりガスが発生することで、被着体から剥離することが可能
一時固定プロセス用
テープ
高接着易剥離UVテープ SELFAシリーズ
SELFA SE
150°Cまでの環境下で部品の仮固定ができ、UV照射後剥離が可能