高接着易剥離UV胶带
SELFA系列

什么是SELFA系列

SELFA是同时具备高接着性与易剥离的两种特性的UV剥离胶带。UV照射后胶带与被着体间产生气体,可以在零受力的情况下非常轻易地撕掉胶带,即使是超薄研磨的晶圆也不会受到任何损伤。积水化学拥有高耐热性的单面HS系列,高耐热的双面临时键合材料HW系列,以及高耐药液性的MP系列等的产品系列,我们可以从中选择最适合您应用场景的型号进行提案。

・耐热SELFA系列 SELFA HS
・耐热SELFA系列 SELFA HW
BU flim 产品型号一览 SELFA2
SELFA系列的特征

凭借高耐热性及特殊剥离技术来实现崭新的半导体工艺

适用无铅回流焊等
新的工艺

适用于超薄器件

宽泛的工艺窗口

耐热性通过气体的
产生实现无损伤的剥离
轻剥离 低残胶即使在高温后也能够实现无残胶
一般UV胶带

一般UV胶带

SELFA

SELFA

一般UV胶带 SELFA
耐热性 ×(150度以下) 220℃ @ 2hr + Reflow
残胶 × 无残胶
单面耐热SELFA HS系列

在诸如回流焊等封装的热制程中保护器件

SELFA HS

特征

  • 优良的耐热性,耐药性
  • 同时兼备强粘着+低残胶两种性能

使用例

SELFA HS 使用例

产品规格

品名 类型 高耐热 剥离方法 基材种类 器件侧
粘着种类
支持剂侧
粘着种类
UV波长
(nm)
UV照射量
(mj/cm2)
用途案例
HS 单面 剥离 耐热膜 UV固化粘着剂 - 405 3000 reflow
双面耐热SELFA HW系列

实现干膜式的干法临时键合工艺,提升生产性

SELFA HW

特征

  • 干膜式的临时键合使操作更加安全稳定
  • 通过产生气体实现无损伤剥离
  • 优良的耐热性,耐药性

使用例:传感器(CIS,指纹等)防止晶圆翘曲

SELFA HW 使用例

产品规格

品名 类型 高耐热 剥离方法 基材种类 器件侧
粘着种类
支撑剂侧
粘着种类
UV波长
(nm)
UV照射量
(mj/cm2)
用途例
HW 两面 剥离
气体剥离
耐热膜 UV固化粘着剂 气体产生 405
254
3000
12000
玻璃支撑
测试结果

背部研磨测试

测试条件 结果
晶圆厚度
700μm ⇒ 50~30μm

边缘部分

背部研磨测试结果

耐药性测试

玻璃+双面SELFA+晶圆贴合后3小时进入测试实施

Acid
(SC2:HCl+H2O2+H20):3小时
Base
(2.38% TMAH):3小时
无Pre-UV
Acid 无Pre-UV1Acid 无Pre-UV2边缘浮起
Base 无Pre-UVBase 无Pre-UV2边缘浮起
有Pre-UV
Acid 有Pre-UVAcid 有Pre-UV2端部OK
Base 有Pre-UV1Base 有Pre-UV2端部OK

耐热测试

a) 220℃×2小时 b) 260℃无铅回流焊
条件
耐热测试 热板烘烤耐热测试 220℃×2H热板烘烤
耐热测试 260℃无铅回流焊
玻璃+双面SELFA+晶圆贴合后进行耐热性测试
220℃×2H 实施后无变化:2小时OK
260℃无铅回流焊 实施后无变化:3次OK
晶圆/芯片制造工艺相关产品一览
概要 产品分类 系列名/产品名 特征
半导体工艺用
耐热UV胶带
高粘性易剥离TV胶带 耐热SELFA系列
SELFA HS
在回流焊等家加热制程中保护产品
临时键合用双面耐热胶带 高粘性易剥离TV胶带 耐热SELFA系列
SELFA HW
以胶带的方式实现临时键合,提升生产性
电镀/化学镀的保护用胶带 高粘性易剥离TV胶带 SELFA系列
SELFA MP
通过UV照射发生气体,使胶带可以更容易地剥离。
工艺中临时固定用的胶带 高粘性易剥离TV胶带 SELFA系列
SELFA SE
150℃的环境下可以临时固定零件,UV照射后可以简单剥离。