研磨布固定用両面テープ
研磨布固定用両面テープは液晶ガラス基板製造工程をはじめ、電子材料製造工程で幅広く使用されている両面テープです。
接着信頼性に優れますが、使用後は容易に再剥離可能です。
特長
- フィルム基材を使用しているため、再剥離が可能です。
- 最大2450mm幅まで対応可能です。
- ダブルセパレータタイプは、粘着剤面の平滑性に優れます。
- お客様のご要望に沿った製品仕様を開発いたします。
用途
- 液晶ガラス基板のポリッシングパッド、パッキングフィルム固定
- シリコンウェハ、ハードディスク基板等のポリッシングパッド固定
- CMPパッド固定
- ラビングクロス固定など
特性
一般物性
| 項目 | 感圧型 | 感熱型 | ||
|---|---|---|---|---|
| 一般 タイプ |
ディファレンシャル タイプ |
ディファレンシャル タイプ |
||
| テープ厚み（μm） | 130 | 108 | 138 | |
| 粘着力（N/25mm） （SUS、23℃） |
強粘着面 | 6 | 12 | 30 |
| 弱粘着面 | 5 | 6 | 20 | |
| 粘着剤 | アクリル系 | アクリル系 | アクリル系 | |
| 基材 | OPP | PET | PET | |
| ライナー | シングルセパ | ダブルセパ | シングルセパ ダブルセパ |
|
| 紙 | 紙/フィルム | 紙/フィルム | ||
| 用途例 | シリコンウェハ研磨 | CMP ハードディスク基板研磨 |
CMP 液晶ガラス基板研磨 |
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- 粘着力の測定方法はJIS Z 0237に準拠。
- 記載の数値は、測定値の一例であり、保証値ではありません。