常圧ウエハ外周エッチャ

製品説明

ウエハ外周のみマスクレスでドライエッチングします。ドライエッチング方式ではありますが、常圧リモートプラズマを使用していますので、膜の変質・硬化など、プラズマでのダメージはありません。また、マスクレスドライエッチングですが、エッチング前後の洗浄などは必要なく、非常に低いランニングコスト・短TATを実現しています。これにより、ウエハ外周部からのパーティクルの防止、膜のストレス緩和、EBR後のプロセスにおいてのプラズマの制御などが可能となります。