常圧ウエハ外周エッチャ

製品名称

常圧ウエハ外周エッチャ

一般名称

EBR装置

製品バリエーション

SEBERALシリーズ
型式:APR(RE-01から型式変更)

製品仕様

・φ5〜12"対応
・オリフラ対応
・有機膜EBR:レーザー+オゾン
・無機膜EBR:常圧プラズマ+反応ガス


商品説明

ウエハ外周のみマスクレスでドライエッチングします。ドライエッチング方式ではありますが、常圧リモートプラズマを使用していますので、膜の変質・硬化など、プラズマでのダメージはありません。また、マスクレスドライエッチングですが、エッチング前後の洗浄などは必要なく、非常に低いランニングコスト・短TATを実現しています。これにより、ウエハ外周部からのパーティクルの防止、膜のストレス緩和、EBR後のプロセスにおいてのプラズマの制御などが可能となります。

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